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Porvair是一家專業的過濾和環境技術集團,擁有三個運營部門——航空航天與工業、實驗室和金屬熔體質量。他們在英國、美國、德國、荷蘭和中國開展業務。Porvair Sciences是為生物技術和生命科學行業制造和開發尖端多孔塑料材料和微孔板技術的全球領導者。SELEE率先在金屬過濾技術中使用陶瓷泡沫。由于對創新的承諾,SELEE始終處于所有類型熔融金屬的過濾、熔體處理和轉移工藝最新發展的前沿。JG Finneran Associates是一家為全球色譜、生物技術、環境和實驗室社區提供獨特創新產品的制造商和供應商。這些產品旨在提供可靠的性能,同時節省時間和金錢。以下就是深圳市科電遠揚科技有限公司為您介紹的美國PORVAIR過濾器應用設計,深圳市科電遠揚科技有限公司專注歐美國家等歐洲工業品備件,數萬工業品牌及供應商,質量保證!為您提供優秀的采供服務,歡迎來電咨詢合作!
美國PORVAIR的LiquiPro™過濾器和過濾器外殼系列專為以下應用而設計:
化學機械拋光(CMP)是STI、銅、氧化物或鎢的關鍵微電子學工藝步驟。這些先進的CMP工藝需要過濾器來滿足減少劃痕改進以及高效去除率的嚴格要求。CMP過濾器主要采用先進的聚丙烯介質設計,帶有聚丙烯支撐、芯、籠、用于濾芯或一次性膠囊的端蓋。這些過濾器與氧化鋁、膠體和二氧化鈰類型的化學漿料兼容。這些適用于使用點(POU)或散裝漿料輸送系統(BSDS)。他們的LiquiPro™SL過濾器適用于這些應用。
美國PORVAIR過濾器CMP后清潔——在CMP后清潔過程中,應用材料Reflexion工具系列通常使用稀氫氟酸或氨溶液。這是一種帶有親水性PES膜的濾筒。他們的LiquiPro™BU過濾器專為此特定目的而設計。
美國PORVAIR過濾器PVD–鍍銅過濾器專用于LAM用于鑲嵌和TSV工藝的高級Cu SO4電鍍工具。電化學電鍍槽化學品安裝有10英寸濾芯ECP過濾器。
美國PORVAIR的LiquiPro™CO系列過濾器專為去除細顆粒而設計,可在硫酸銅電鍍溶液中實現電鍍一致性。親水性PTFE膜與多種電鍍添加劑配合良好,可消除電鍍導致的缺陷。該工具還有一個單陽極室(SAC),其中安裝了一個5英寸的一次性過濾器。他們的LiquiPro™SL過濾器適用于此目的。
美國PORVAIR過濾器濕法蝕刻清潔(WEC)過濾器在清潔、蝕刻或剝離的許多前端或后端化學過程中占主導地位。在環境溫度或高溫下使用范圍廣泛的酸、堿和溶劑需要在過濾介質和硬件中采用不同的過濾器。除此之外,在關鍵半導體。工藝過程中,對超高純度和低金屬萃取物的需求是所有過濾器的必備條件。對于其中的許多應用,他們推薦全氟聚合物濾芯產品。LiquiPro™F2、F3和SH過濾器系列配備疏水性PTFE膜和PFA芯、籠、端蓋硬件,可滿足所有要求。在使用腐蝕性較低的化學品的蝕刻或剝離工藝中,可以使用帶有聚丙烯硬件的含氟聚合物膜。他們的LiquiPro F2™系列非常適合這種應用。同樣,在許多工具中發現的CDA(壓縮干燥空氣)過濾中,主要采用具有PTFE膜和PP硬件結構的筒式過濾器。LiquiPro™FG系列過濾器專為此目的而設計。
美國PORVAIR過濾器光刻-在光刻工藝中,高粘度光刻膠與顯影劑和剝離工藝一起使用各種膜材料來消除浴化學中的污染物。在顯影過程中,TMAH或KOH和去離子水等化學品使用一次性過濾器形式的親水PES膜。LiquiPro™MI系列囊式過濾器由具有HDPE支持的PES膜制成,適用于顯影劑和去離子水過濾。
美國PORVAIR過濾器高級光刻膠系統通常由溶劑、光致產酸劑(PAG)、酸猝滅劑、添加劑和表面活性劑組成。LiquiPro™MI(PTFE)和PN(尼龍)系列都具有出色的過濾性能,可以去除大多數光刻膠化學品中存在的凝膠。
美國PORVAIR過濾器化學品輸送系統——在散裝化學品輸送系統中,通常使用各種筒式過濾器來處理漿液、酸、堿和溶劑。通常,10"、20"和30"的濾芯安裝有PP、PFA和不銹鋼外殼。
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美國PORVAIR過濾器水清洗–這是參考使用直接或再循環去離子水進行清潔和沖洗的系統。LiquiPro™DI筒式過濾器由褶皺PES膜和PP硬件構成。對于一次性類型,可提供LiquiPro™MI PP系列。
一般過濾——他們有一系列PP過濾器,無論是熔噴濾芯還是折疊式濾芯,都可用于一般過濾,包括帶褶皺介質的LiquiPro™PA。過濾外殼——他們提供一系列精選的濾筒外殼,適用于高溫下的腐蝕性化學品、溶劑、弱酸、堿、漿液和水:
美國PORVAIR過濾器LiquiPro™EZ PFA外殼:獲得專利的PFA外殼由最高純度的PFA制成,其特點包括節省空間的設計以及與替代PFA外殼的兼容性。
YS不銹鋼外殼:電拋光不銹鋼外殼,適用于70毫米和80毫米濾芯式過濾器,用于溶劑。
YP外殼:適用于許多一般應用的單筒外殼。適用于70毫米和80毫米筒式過濾器。對于直徑為130毫米的過濾器,還提供uPVC外殼。
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